王宏达

主任

负责平台的科研与教学主要方向

联系电话：021-2068-5292

办公地址：物质7号楼208

邮 箱：htwang@@shanghaitech.edu.cn

张艳 主任助理/光刻与蚀刻工程师 

协助主任管理平台运行的日常事务；负责无掩模激光直写光刻机、反应离子刻蚀系统、MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-1、旋转冲洗甩干机、匀胶旋涂仪、二氟化氙刻蚀系统、紫外臭氧清洗机等设备

联系电话：021-2068-4687

办公地址：物质7号楼208

邮 箱：zhangyan@@shanghaitech.edu.cn

熊荣欣 光刻与蚀刻工程师 

负责手动紫外光刻机、双轨式自动甩胶显影机、HMDS表面处理真空烘箱、显影及去胶通风橱、离子束刻蚀系统、MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-2、旋转冲洗甩干机等设备 

联系电话：021-2068-4670

办公地址：物质7号楼208

邮 箱：xiongrx@@shanghaitech.edu.cn

张超 薄膜与器件工程师  

负责磁控溅射薄膜沉积系统、电子束沉积系统、快速热处理系统、微控楔键合机、接触角测量仪、半导体器件分析仪、手动探针台、Lift-off通风橱等设备

联系电话：021-2068-5517

办公地址：物质7号楼208

邮 箱：zhangchao1@@shanghaitech.edu.cn

何金金 薄膜与器件工程师  

负责薄膜应力测试系统、椭偏仪、晶元切割机、Parylene沉积系统、等离子体增强化学气相沉积系统、磁控溅射薄膜沉积系统等设备

联系电话：2068-4672

办公地址：物质7号楼208

邮 箱：hejj@shanghaitech.edu.cn

陆盛楠  薄膜与器件工程师  

负责原子力显微镜、四探针电阻仪、台阶仪、聚合物笔直写系统、临界点干燥仪、电子束沉积系统、原子层沉积系统等设备

联系电话：021-2068-4692  

办公地址：物质7号楼208  

邮箱：lushn@@shanghaitech.edu.cn  

高珍 聚焦氦离子束显微镜工程师   

负责聚焦离子束氦离子显微镜、光干涉式膜厚测量系统、3D共聚焦激光显微镜、6寸光学显微镜等设备

联系电话：021-2068-4649  

办公地址：物质7号楼208  

邮箱：gaozhen@@shanghaitech.edu.cn