要走近“芯片制造”的课程目标,咱们第一堂就到华力上课吧!

时间:2021-10-08浏览:142设置

“纸上得来终觉浅,绝知此事要躬行。”在我国,微纳加工的技术水平仍是有待攻克的难题,是芯片制造业的核心关键。由上海科技大学物质学院开设的核心课程“软物质微纳加工(含实验)”旨在通过实验来学习微纳加工基本原理。在设课之初,本门课程便将“学以致用”纳入重点进行考量,利用软物质微纳加工实验室的平台资源,学期前8周进行密集式设备培训,再8周分组开展生物芯片或MEMS器件的实验,最后2周作器件封装测试。同学们在学习软物质微纳加工理论知识的同时,亦将获得多种软物质微纳器件的设计与加工的经验,除了有助于科研,更是以“人才培养”为目标的一门硬课。

 在2021年秋学期,授课老师王宏达教授和刘一凡教授安排师生共赴全球第五大半导体芯片生产商上海华虹集团子公司上海华力开启特别的“第一堂课”。两位授课老师认为,既然课程要学做微纳器件,最好的方式就是近距离看见产业芯片制造过程,了解实验与应用的差异,也能找到研究生所从事的科研对未来半导体行业的贡献和“学以致用”的意义。

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上科大师生与课程教师

上海华力研发一部王部长(左一)合影


这是本课程第二次在上海华力开展学期第一堂课。2021年9月17号早上9:30,在授课讲师研发一部部长王博士与人力资源部施女士的带领下,上科大24名同学,多位实验助教、软物质微纳加工中心工程师以及两位授课教授一同进入“教室”——上海华力研发楼。本次课程分为三个部分:

 在第一部分,同学们走进了华虹集团展厅。在解说员的带领下,师生们了解了知名的“909”工程以及华力半导体集成电路产业的发展历程、并通过虚拟视频和历史物品,认识华力二十多年以来的历史背景和重大意义。师生们也观看了华力所生产的芯片在各类设备中的应用,对半导体微纳加工和集成电路有了更深入的理解和更浓厚的兴趣。           

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【第一节】同学参观展示中心内的重要历史物品,感受中国芯片行业的历史与文化


在第二部分,同学们换上洁净服和防静电鞋,参观了工艺水平覆盖28纳米技术节点的全自动芯片生产线。讲解员详细介绍了厂房的布局规划,芯片的制作工艺、生产环境以及工程师的工作模式,同学们近距离地接触了前沿半导体生产线,学习到了现代半导体的先进工艺和生产规模。

在第三部分即交流会上,两位华力讲师介绍了华力公司的基本概况和未来规划。随后,师生们和华力工作人员在芯片加工工艺方面进行了深入地讨论,使同学们对微纳加工工艺有了更深刻的认识。已经入职华力的上科大物质学院毕业生王鹏博士向同学们分享了学习和工作经历,为同学们答疑解惑。          

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【第三节】上科大校友(王鹏博士,2020年毕业于硅酸盐所,2015-2016学年在上科大培养)、华力人员同师生展开座谈会


经过实地探访上海华力芯片厂,师生们表示收益良多。选择收录同学的课后感想:

 

课后感受


张忆文 (2020级硕士研究生) :我是李军老师组的学生,软物质加工这门实验课给我耳目一新的感觉。来到上海华力,作为中国半导体企业的龙头企业,它所展示的企业风貌,除了专注研发,技术革新,更有民族复兴的家国情怀,学立身,更学立人。
 
陈叶伟(2019级硕士研究生):我是林国强教授组的学生,对华虹集团的宣传片和芯片视频让我对于芯片加工制造有了更加全面的概念,在和研发部门的老师和学长的交流过程中也对目前的半导体行业从业方面有了更加清晰的认识,也更加珍惜此次课程的学习,希望可以在进一步实际制造芯片的过程中利用自己所学的已有知识尝试思考解决出现的问题,学以致用。
 
吴凡(2019级硕士研究生):我的导师是唐述杰老师,第一堂课有幸来到华力参观。在厂区的参观通道里,我们看到了自动化的运作模式,先进的生产环境,让人惊叹。随后的与师兄的经验交流,也让我了解了华力的培养方式,和芯片的生产流程。此次的参观着实令我获益匪浅,十分感谢学校和华力提供这次机会,也感谢老师和助教们的活动安排。
 
郭志强(2020级硕士研究生):我的导师是柳仲楷老师,本学期的软物质加工课一开课,老师带我们来到了上海华力参观。华力28nm工艺的12英寸晶圆加工厂,技术工艺在大陆已经非常领先,厂区自动化程度非常好,几公里长的自动化搬运系统轨道让人印象深刻。在企业发展历程介绍中,可以感受到国家战略制定者的高瞻远瞩,以及20多年来华虹人攻坚克难中蕴含着的华虹精神,正是这上下同心共同努力,才能够在种种困境中将大陆本土集成电路制造业发展起来。
 
刘仕荣(2020级硕士研究生):我是冯继成老师组的学生,我国光刻技术起步晚,成熟的光刻机制备工艺并不完善,目前能先利用国外已有设备进行大规模工厂生产,已经可以在很大程度上减轻国内这一领域对国外的依赖性。我们需要明白,在利用国外设备做出如此成就的同时,必须时刻铭记高端技术的重要性,只有把核心技术掌握在自己手中,才能实现真正的独立富强。

供稿|王宏达、刘一凡

排版|张启洋


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