上海科技大学-中科院上海微系统与信息技术研究所量子电子学联合实验室集成电路综合表征研讨会召开
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发布日期:2017-01-15
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2017年1月11日,量子电子学联合实验室集成电路综合表征研讨会在中科院上海微系统与信息技术研究所长宁园区召开,微系统所副所长、党委副书记、纪委书记俞跃辉研究员、信息功能材料国家重点实验室骨干、上海科技大学物质学院副院长刘志、教授代表、行政人员出席了会议,会议由俞跃辉主持。


会上,俞跃辉首先介绍了深亚微米集成电路的研究背景与碰到的技术难点,随后信息功能材料国家重点实验室郑理助理研究员分别就同步辐射在超薄κ介质、第三代半导体界面、PbS2量子点/石墨烯异质结研究等方面的应用进行了专题阐述。接下来,刘志针对微系统所的报告进行了提炼,并会同物质学院教授代表针对技术细节开展了细致讨论与技术交流。与会双方群策群力,逐步为深亚微米集成电路的技术难题理清了下一步研究思路,并基于介电常数的测量,制定了集成电路综合表征初步方案,有效推进了02专项20-14纳米前瞻性研究的下一步工作。


双方于2016年10月28日正式签署的“量子电子学联合实验室合作协议”,将以先进光源线站和超导电子器件工艺平台为重要支撑,通过互补性的深度合作和协同创新,在量子电子学领域以及主要合作方向建设具有国际竞争力的研究平台,打造具有独特优势的科研、教学和培训基地,培养具有国际视野和创新潜力的青年研究骨干和学生,产出具有国际影响力的研究成果,力争中科院科教融合和院市联合增添新的亮点。