软纳米材料制备中心

时间:2018-03-14浏览:45设置


软纳米平台Soft NanoLabSNL)是专门为了研发各类软材料、将软材料制备成各种应用器件,而创建的一个微纳加工共享平台;本平台全名为:软材料微纳加工实验室Soft Material Nanofabrication Laboratory)。本平台实验室位于物质学院7号楼一层南侧,性质为电子厂房净化室,包含千级和万级两个洁净区域,共占地650平方米;本平台为小规模、高水平微纳加工实验室,将提供最先进的微纳加工设备,主要功能有光刻、蚀刻、薄膜、和器件封装与测试,专为新型软材料的器件开发提供支撑性科研服务。


软纳米平台既是物质科学与技术学院三大科研支撑平台之一,同时,也是上海科技大学重点科研资源平台之一。由上海市政府提供建设经费,在上海科技大学相关部门的合作及指导下,本平台由物质科学与技术学院主要负责相关规划筹建、以及运行。本平台的建设构想由物质科学与技术学院创建院长杨培东院士提出,主要为新能源、新生物、新量子科学发展,为不同领域的软材料器件研究提供最先进的微纳加工能力;此外,软纳米平台作为一校级大型设备共享平台,不仅对校内全面开放,更将鼓励校内外科研合作或业界产品开发,满足微纳加工需求,以实现“推进科技进步驱动产业发展”的创新价值。未来软纳米平台将致力成为一个集学、研、制、测一体化的科研平台,作为上海科技大学的科研保障基地之一。


仪器名称

仪器名称(英文)

图片

型号

等离子体增强化学气相沉积PECVD

OXFORD NGP80 PECVD

OXFORD NGP80 PECVD

电子束蒸发

E-beam Evaporator

DZS-500

磁控溅射系统

Magnetron sputtering system

TRP-450

原子层沉积系统

Atomic Layer Deposition

TALD-100A-3

电子束蒸发-2

E-beam Evaporator

CHA mark50

磁控溅射系统-2

Magnetron sputtering system

PRO Line PVD 75

原子层沉积系统-2

Atomic Layer Deposition



快速热处理系统

Rapid Thermal Annealer

AccuThermo AW610

光学显微镜

Metallographic microscope

Olympus BX51M

台阶仪

Surface Profiler

Dektak XT

椭偏仪

Ellipsometer

Ellitop ES01

太阳能电池测试站

Solar Cell Test Station



光致发光和电致发光测试站

EL and PL Station



光学显微镜

Optical Microscope

Axio Lab.A1ZEISS

原子力显微镜

Atomic Force Microscope

Cypher S

膜厚测量系统

Film Thickness Measurement System

TohoSpec3100

半导体器件分析仪

Semiconductor Parameter Analyzer

KeySight B1500A

探针台

Probe Station

Signatone S1160

聚合物光刻系统

Polymer Pen Lithography System

TERA-print M

临界点干燥仪

Critical Point Dryer

Tousimis Autosamdri-815B Series C

晶圆切割机

Wafersaw

DISCO DAD323

微控楔键合机

Wirebonder

West Bond 7476E

腐蚀清洗台

Wet Bnech

SFQ-604SKSX

烤胶机-1

Hot plate-1

Mycro HP1000-1+Rocker300

烤胶机-2

Hot plate-2

Mycro NDK-1K

紫外曝光机-1

Ultraviolet exposure machine-1

SÜSS MJB4

紫外曝光机-2

Ultraviolet exposure machine-2

SÜSS MA6

激光直写光刻系统

Laser direct writing lithography system

Quantum Design Microwriter ML3

3D共聚焦激光显微镜

3D Material Confocal Microscope

Zeiss LSM800

氦离子聚焦离子束显微镜

Helium Ion Microscope‐Focused Ion Beam

Zeiss ORION NanoFab

HMDS真空烘箱

HMDS Oven

Yes 310TA

匀胶旋涂仪

Spin Coater

Laurell WS 650

Wafab显影槽

Wafab Developing Bench

Wafab Manual

Wafab剥离槽

Wafab Lift-off Bench

Wafab Manual

Wafab湿式清洗槽

Wafab Acid Etching Bench

Wafab Manual

反应离子刻蚀

Reactive Ion Etch

Advanced Vacuum VISION 322  

离子束刻蚀

Ion Beam Mill

Intlvac Nanoquest I

薄膜应力测试系统

Stress measurement system

Toho FLX2320S

紫外固化炉

UV-Ozone

Samco UV-2



返回原图
/